集成電路芯片車(che)間(jian)是為了滿足(zu)半導體制(zhi)造工藝(yi)需求(qiu)的潔凈(jing)(jing)室，該潔凈(jing)(jing)室對(dui)環境潔凈(jing)(jing)度、溫濕度、振動、ESD、AMC控制(zhi)等都(dou)有一定的要求(qiu)。相對(dui)于其他(ta)工業潔凈(jing)(jing)室，集(ji)成電路制(zhi)造潔凈(jing)(jing)室有面積(ji)大、潔凈(jing)(jing)等級高(gao)(gao)、溫濕度控制(zhi)精度高(gao)(gao)等特點。

根據(ju)潔凈(jing)室空(kong)氣循環特點(dian)可(ke)以將潔凈(jing)室分(fen)為三種類型：循環空(kong)調機配合(he)高(gao)效送(song)風(feng)口系(xi)統、循環風(feng)機配合(he)濕(shi)式密封系(xi)統和FFU循環系(xi)統。

第一種形式在(zai)小規模(mo)低等(deng)級要求的潔(jie)凈室設計中被(bei)廣(guang)泛應用，對于大面積(ji)高等(deng)級的潔(jie)凈室則存在(zai)運(yun)行成本(ben)過高、占用空間(jian)過大等(deng)缺點。

第二(er)種形式的(de)設(she)計(ji)可以(yi)滿足集成(cheng)(cheng)電路(lu)制(zhi)造潔凈(jing)室大(da)面積(ji)高(gao)等級的(de)要求，但運行成(cheng)(cheng)本較高(gao)，并(bing)且潔凈(jing)室風(feng)(feng)速、風(feng)(feng)量調(diao)節困(kun)難，系統(tong)升級改造困(kun)難，因此操作靈活性很低。

第三種的(de)FFU循環系統(tong)不(bu)僅(jin)節省運行(xing)空間、潔凈度安全性高、運行(xing)成本低，而且操作靈活性很(hen)高，可以在(zai)不(bu)影(ying)響(xiang)生(sheng)產的(de)情(qing)況下隨(sui)時進行(xing)系統(tong)升級(ji)和(he)調整，這(zhe)些(xie)都能(neng)很(hen)好地滿足半(ban)導體制造的(de)需(xu)求(qiu)，因(yin)此在(zai)半(ban)導體制造業FFU循環系統(tong)逐漸成為最主要(yao)的(de)潔凈設計方案。

集成電路芯片車間廠房(fang)的技(ji)術特(te)征

(1) 電子類生(sheng)產(chan)廠房因其生(sheng)產(chan)產(chan)品對(dui)(dui)空(kong)(kong)間(jian)(jian)環(huan)境特殊的(de)潔凈度(du)要求,建筑平剖面空(kong)(kong)間(jian)(jian)以(yi)及技(ji)術措施(shi)首先應保證生(sheng)產(chan)空(kong)(kong)間(jian)(jian)的(de)潔凈度(du),對(dui)(dui)進入生(sheng)產(chan)空(kong)(kong)間(jian)(jian)的(de)人流(liu)物(wu)流(liu)以(yi)及設備(bei)等(deng),均應做(zuo)凈化和無塵處理(li)。

(2) 集成電路芯(xin)片(pian)生產過(guo)程中(zhong)工藝流(liu)(liu)程一般不是單向(xiang)的(de)(de),通(tong)常會出現(xian)多次交叉(cha)(cha)反復。像芯(xin)片(pian)生產過(guo)程中(zhong)的(de)(de)光刻、腐蝕、擴散(san)、蒸發(fa)、表面純化(hua)等(deng),工藝流(liu)(liu)程上的(de)(de)往復交叉(cha)(cha)頻繁(fan)。在設(she)(she)計(ji)(ji)上則要求空間的(de)(de)潔(jie)(jie)凈度對各工序均滿足(zu)生產要求。因(yin)此國(guo)外的(de)(de)生產廠房整個潔(jie)(jie)凈生產區(qu)潔(jie)(jie)凈等(deng)級均按100級設(she)(she)計(ji)(ji),個別(bie)10級區(qu)域(yu)用設(she)(she)備手段解決。

(3) 電子產品的(de)更新(xin)換代(dai)快,其生產工藝和設備也(ye)在不(bu)斷更新(xin),要求(qiu)(qiu)建筑空間(jian)有一定的(de)靈活性和可變(bian)性,以適應工藝和產品不(bu)斷的(de)更新(xin)換代(dai)要求(qiu)(qiu)。

(4) 集成電(dian)路(lu)芯片生產(chan)雖是(shi)流水作業(ye)但因其(qi)運(yun)輸(shu)量(liang)小不需十分嚴(yan)格的工序銜接,在建筑空間(jian)布局上可相(xiang)對自(zi)由。