潔凈車間是(shi)指(zhi)將一(yi)定(ding)空(kong)間(jian)范(fan)圍內空(kong)氣(qi)(qi)中(zhong)的微(wei)粒子、有害空(kong)氣(qi)(qi)、細(xi)菌等(deng)(deng)污染物排除(chu)，并將室內溫度、潔凈度、室內壓力、氣(qi)(qi)流速度與氣(qi)(qi)流分布、噪音振動及照(zhao)明(ming)、靜電控制在(zai)某一(yi)需求(qiu)范(fan)圍內，而所(suo)(suo)給予(yu)特別(bie)設(she)計的房間(jian)。亦即是(shi)不論外在(zai)之(zhi)空(kong)氣(qi)(qi)條(tiao)件(jian)如何變(bian)化，其室內均(jun)能俱有維持原(yuan)先所(suo)(suo)設(she)定(ding)要求(qiu)之(zhi)潔凈度、溫濕度及壓力等(deng)(deng)性(xing)能之(zhi)特性(xing)。

潔凈車間最主(zhu)要(yao)之作(zuo)用在于(yu)控制產(chan)品(如(ru)硅(gui)芯(xin)片等)所接觸之大(da)氣(qi)的(de)潔(jie)凈(jing)(jing)度(du)日及(ji)溫濕度(du)，使產(chan)品能在一(yi)(yi)個良好之環境空間(jian)中(zhong)生產(chan)、制造，此空間(jian)我們稱之為潔(jie)凈(jing)(jing)室。按(an)照國(guo)際慣例，無(wu)塵(chen)凈(jing)(jing)化級(ji)別主(zhu)要(yao)是根據(ju)每立方米(mi)空氣(qi)中(zhong)粒子直徑大(da)于(yu)劃分標(biao)準(zhun)的(de)粒子數(shu)量來規定(ding)。也就是說所謂(wei)無(wu)塵(chen)并(bing)非100%沒有(you)一(yi)(yi)點(dian)灰(hui)塵(chen)，而是控制在一(yi)(yi)個非常(chang)微(wei)量的(de)單位上。當然(ran)這個標(biao)準(zhun)中(zhong)符(fu)合灰(hui)塵(chen)標(biao)準(zhun)的(de)顆粒相對(dui)于(yu)我們常(chang)見的(de)灰(hui)塵(chen)已經是小的(de)微(wei)乎其微(wei)，但是對(dui)于(yu)光學構造而言(yan)，哪怕是一(yi)(yi)點(dian)點(dian)的(de)灰(hui)塵(chen)都會(hui)產(chan)生非常(chang)大(da)的(de)負(fu)面影響(xiang)，所以在光學構造產(chan)品的(de)生產(chan)上，無(wu)塵(chen)是必然(ran)的(de)要(yao)求。

每立方米(mi)將小于0.3微米(mi)粒(li)徑的(de)微塵數量(liang)控制在3500個以(yi)下(xia)，就達到了國(guo)際無塵標準的(de)*。芯(xin)片級(ji)生產加工的(de)無塵標準對于灰(hui)塵的(de)要求高于*，這(zhe)樣的(de)高標主要被應用在一(yi)些(xie)等(deng)級(ji)較(jiao)高芯(xin)片生產上。0.5uM及以(yi)下(xia)的(de)微塵數量(liang)被嚴格控制在每立方英寸1000個以(yi)內，這(zhe)也就是業內俗稱的(de)1K級(ji)別。

空態:已經建造完成并可以投入使用的潔凈室(設施)。它具備所有有關的服務和功能。但是，在設施內沒有操作人員操作的設備。

靜態:各種功能完備、設定安裝妥當，可以按照設定使用或正在使用的潔凈室(設施)，但是設施內沒有操作人員。

動態:處于正常使用的潔凈室，服務功能完善，有設備和人員;如果需要，可從事正常的工作。